홈유동의 물리에서,
RESEARCH
유동의 물리에서,
해석과 예측까지.
터보기계 및 공기역학, 난류 유동, CFD 및 분석 기법. 응용 대상과 유동 물리, 이를 이해하는 방법을 세 연구 테마로 연결합니다.
응용 연구 사례
CMP PROCESS CFD
CMP 공정의 CFD 해석
300 mm CMP 시스템에서 회전 속도와 슬러리 공급 유량에 따른 비정상 다상유동과 웨이퍼 주변의 슬러리 분포를 분석합니다.
연구 자세히 보기 ↗RESEARCH
터보기계 및 공기역학, 난류 유동, CFD 및 분석 기법. 응용 대상과 유동 물리, 이를 이해하는 방법을 세 연구 테마로 연결합니다.
CMP PROCESS CFD
300 mm CMP 시스템에서 회전 속도와 슬러리 공급 유량에 따른 비정상 다상유동과 웨이퍼 주변의 슬러리 분포를 분석합니다.
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